空气洁净度等级(air cleanliness class):洁净空间单位体积空气中，以大于或等于被考虑粒径的粒子最大浓度限值进行划分的等级标准。用空态和静态方法进行测试。

一、洁净室的空气洁净度，应进行下列测试

(一)空态、静态测试

空态测试:洁净室已竣工，净化空气调节系统已处于正常运行状态，室内没有工艺设备和生产人员的情况下进行测试。

静态测试:洁净室净化空气调节系统已处于正常运行状态，工艺设备已安装，室内没有生产人员的情况下进行测试。

(二)动态测试

洁净室已处于正常生产状态下进行测试。

洁净室的风量、风速、正压、温度、湿度、噪声的检测，可按一般通用、空气调节的有关规定执行。

二、空态、静态测试

(一)测试前的准备

1. 应对洁净室及其净化空气调节系统进行彻底清洁。

2. 采用光散射粒子计数器对高效空气过滤器进行检漏测试。首先测定高效空气过滤器的上风侧静压箱内(或风管内)粒径大于或等于0.5μm的尘粒数应为大于或等于30,000粒/升。如若不够，可引入烟雾，然后开始检漏。将粒子计数器(或检漏装置)的采样口距离高效空气过滤器2-3厘米处，可以2-4厘米/秒的速度移动，对高效空气过滤器整个断面封头胶处和安装框架处进行扫描。

当粒子计数器读数为空气口大于或等于0.5μm的尘粒超过3粒/分·升(或其穿透率大于0.01‰)即认为该处有明显渗漏，必须进行堵漏。

(二)测试内容

1. 总送风量、总回风量、新鲜空气量、排风量等;

2. 洁净室压力值;

3. 层流洁净室断面风速和气流流向;

4. 洁净工作区的洁净度;

5. 室内温度、湿度及其控制能力的调整测试;

6. 洁净室内噪声。

一般在洁净室是有等级的，采用多种工序操作时，应根据各工序不同的要求，采用不同的空气洁净度等级，依据工序要求确定等级。

                                                洁净室(区)空气洁净级别表